علم نانو و علوم مرتبط با آن جدید نیستند ( صدها سال است که کیمیادانان از تکنيکهاي علم نانو در کار خود استفاده میکنند که بیشباهت به تکنيکهای امروزی نانو نيستاما تنها به دلیل پیشرفت کم فناوری و نبود امکانات امروزی مانند میکروسکوپ نیروی اتمی، میکروسکوپ تونلی پیمایشی و غیره نتوانسته اند حوزه مشخصی برای این فناوری تعیین کنند.
اولین بارریچارد فیمندر سال 1959 (سخنرانی درباره امکان به راه اندازی پروسه ای برای دستکاری اتمها و مالیکولها با استفاده از ابزارهای دقیق که سبب شد افکار به سمت توسعه چنین امکانی متمایل شوند)
در سال 1974، پروفسور نوریو تانیگوشی، مدرس دانشگاه علوم توکیو، نخستین بار واژه "فناوری نانو" را بکار گرفت. او در مقاله ای با نام "مفهوم اساسی فناوری نانو" اشاره می کند که فناوری نانو اساسا مجموعه ای از فرایندهای تفکیک، ادغام و تشکیل مواد در حد یک اتم یا یک مالیکول است.